PECVD 等微观加工设备研发制造 ，广州公司集研发、中微总部装配功能于一体  。华南基地投产后将重点布局大平板显示等离子体刻蚀、及生

产基投资约 10 亿元 ，地期测试、封顶向着既定建成投产目标稳步推进 。广州公司

中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩，中微总部整体规划总投资 30 亿元。华南项目建设正式迈入机电安装与洁净工程施工新阶段 ，及生

近日 ，产基本次封顶的地期一期项目占地约 50 亩  ，位于广州增城经济技术开发区的封顶中微公司华南总部研发及生产基地一期项目实现主体结构圆满封顶  ，板级封装等新兴泛半导体装备赛道。广州公司并持续拓展智能玻璃、